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Las superficies de óxido de aluminio, óxido blanco, nitruro de aluminio, carburo de boro y vidrio de óxido de silicio se limpian y eliminan mediante chorro de arena, con un volumen de eliminación de 10-15 micras y una rugosidad superficial de 0,8-1,2 micras, garantizando al mismo tiempo un alto grado de consistencia. .
La tecnología de eliminación, corte y pulido de superficies de materiales semiconductores con chorro de arena y grabado de alta precisión en el país siempre ha sido una tecnología de "cuello", la realización del proceso de los requisitos del equipo es extremadamente alta. PATTING Technology ha logrado recientemente un gran avance en esta tecnología.
Sucesivamente, para XD, JC, WYS y los Estados Unidos y otros clientes de semiconductores para proporcionar soluciones de equipos de proceso de chorro de arena, equipos y procesos de chorro de arena en la industria para un desarrollo e investigación en profundidad, para resolver la pistola en el nivel ultra bajo. chorro de arena a presión de los problemas centrales del suministro uniforme de arena, mientras que los datos del proceso de chorro de arena para lograr un control y monitoreo integral de datos, el establecimiento del campo de experiencia exitosa, el desarrollo exitoso de la mesa giratoria, el tipo de transportador y el equipo robótico de chorro de arena, serie de Hemos desarrollado con éxito rotatorio Los equipos de chorro de arena tipo mesa, tipo transportador y robot, y la serie de equipos, después de realizar el diseño estandarizado y la producción en masa, han superado el bloqueo tecnológico y las altas limitaciones de precios de Japón, Corea, Europa y Estados Unidos de un solo golpe. y han establecido una gran ventaja sobre el mismo tipo de productos.
Las principales características técnicas del equipo de chorro de arena serie mesa de material semiconductor son las siguientes:
1. Se da cuenta de que la pistola pulverizadora se puede limpiar de manera uniforme y estable bajo cualquier condición de trabajo con presión de 0,1-0,6 MPa, y realiza el control y ajuste basado en datos de la cantidad de abrasivo descargado;
2. Se logra el funcionamiento continuo y estable del sistema de separación y reciclaje de abrasivos y el máximo ahorro de abrasivo ultrafino;
3. Todos los parámetros de chorro de arena (presión de aire, flujo de abrasivo, pistola rociadora y movimiento de la pieza de trabajo) se ajustan y controlan mediante datos durante la operación;
4 、 Serie de modelos de equipos de chorro de arena para lograr una producción en masa estandarizada, el costo se ha controlado en gran medida.
